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コストが1/10になった6軸力センサ
| 概要 |
3軸方向の並進力および各軸周りのモーメントを同時に計測可能ないわゆる6軸力センサであって、歪ゲージに代わって並進力を検出する装置を利用して6軸力センサを形成するとともに、6軸力センサの小型化、軽量化を図り、コストを1/10に低減(試作段階)。例えば、人間の歩行分析やロボットの姿勢制御等に利用可能である。
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| 整理番号 |
2095_00003 |
特許等関連番号 |
特出2005-300762
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交渉レベル |
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液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法
| 概要 |
液晶マトリックス投影露光時のパターンのくびれ、突起をなくし、平滑なパターンを形成できる技術を提供します。
液晶マトリックス投影露光時には、液晶セルの境界やセル中の不透過の部分に起因して、パターンのくびれや突起が発生しますが、本技術はそれを解決するものです。
即ち、本技術は、液晶パネルに近接または密着させて、液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部に限定し、円形等の開口を有する開口制御板を挿入した状態で投影露光するもので、一度に露光される部分が点円状となりますが、液晶パネルまたは被露光基板をずらして重ね露光することにより平滑な外形のパターンを形成できます。そして、液晶セルの大きさより小さい幅のパターンや液晶セルピッチより小さいピッチのパターンを形成できます。
半導体集積回路、光エレクトロニクス素子、マイクロマシン部品等で、より微細なパターンを半導体ウエハ等の基板上に転写する装置として活用できます。
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| 整理番号 |
2108_00001 |
特許等関連番号 |
特許4726173
4761261
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交渉レベル |
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飛翔ロボット
| 概要 |
人間が入れない狭い場所や危害が及ぶ場所の状況を察知するための飛翔ロボット技術を提供します。
本技術は、飛翔ロボットにその一部を認知するためのマーカー(発光体)を取り付け、周囲を観察するカメラを搭載し、カメラ画像を映すモニタ画面内に、マーカーの少なくとも一部が観察景色の前景として入るようにします。よって、周囲を映すカメラ映像を、ロボットの一部または端を認知できるマーカー物体とともに見ながら操縦することができます。
主な特徴は、1)操縦が容易で周囲の様子を見ながら柔軟にロボットの位置や姿勢を制御できる、2)対物距離センサ、方位角センサ、高さセンサなど、位置、姿勢制御用の機器や素子を必ずしも設けなくてよい、3)揚力に余裕が生ずるので消費電力が減り、滞空時間を増す、4)マーカー物体を飛翔ロボットの端を認知できる場所にしておけば、墜落を防止できるなどです。
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| 整理番号 |
2108_00005 |
特許等関連番号 |
特許4521540
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交渉レベル |
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投影露光装置
| 概要 |
被露光試料の側表面を効率的に露光でき、かつ、高い角度精度でパターンを形成できる投影露光装置を提供します。
本装置は、1)原図基板上のパターンを被露光試料の側表面に投影露光する投影光学系、2)被露光試料を中心軸回りに回転する回転ステージ、3)被露光試料を回転ステージの回転軸と垂直の方向に移動し回転ステージの回転軸に対する被露光試料の中心軸位置を調整する偏芯補正ステージが設けてあります。場合によっては、被露光試料の側表面の露光すべき位置を投影光学系の光軸に垂直な方向に向ける傾斜ステージを設けます。
投影露光なので、一度に広い面積を露光でき、所要時間を大幅に低減できるため、パターンを高い生産性で露光でき、また、ランプを光源として利用するため、安価に被露光試料の側表面露光ができ、偏芯補正ステージ及び傾斜ステージにより、パターン形状のばらつきを大幅に低減できる特徴があります。
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| 整理番号 |
2108_00006 |
特許等関連番号 |
特許4572365
4521539
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交渉レベル |
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光ファイバーアレイおよび光ファイバーアレイの製作方法
| 概要 |
多くの光ファイバー素線を隙間なく密着させて配列した光ファイバーアレイの製造技術を提供します。
本技術は、1)2つの基板を光ファイバー素線を弾性変形させて挿入できる隙間を持たせて固定し、2)隙間の寸法を入れた光ファイバー素線に外力を加えて弾性変形による押し付け力でその位置を保持できるものとし、3)基板の少なくとも一方に光ファイバー素線の外形より十分大きい隙間と連なる切り欠きまたは穴を設け、4)基板間の隙間に光ファイバー素線を密に配置し、5)光ファイバー素線の少なくとも片側の端面を光ファイバー素線を挟んだ基板と共に平坦に加工することから構成されます。
安価で精度の高い光ファイバーアレイを得ることができ、光通信用の大規模配列光ファイバーアレイとして用いれば、通信容量の大幅な向上が可能となり、また、光コネクタの小型化、光通信装置の小型化が可能となります。
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| 整理番号 |
2108_00009 |
特許等関連番号 |
特許4412730
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交渉レベル |
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カプセル型移動ロボット
| 概要 |
自律推進型で外部に可動部を持たない超小型のカプセルロボット技術を提供します。
本小型ロボットは、筒状の本体と、内部に進行方向と平行に移動自在に収納された可動体と、本体内において可動体を進行方向と反対方向に高速で移動させ、本体の進行方向には低速で移動させる駆動手段とを備え、本体を進行させます。高速移動時には運動量保存則に従い本体を進行させ、低速移動時には静止摩擦力により本体を静止させたまま、可動体を本体に対して元の位置に戻すように駆動します。
外側に可動部を持たず極めて単純な機械的、電気的な構造ですので、信頼性が高く、極めて小型にすることが可能で、例えば、直径6mm、長さ30mm以下のサイズに作ることができ、高価な部品は不要ですので安価に造ることができます。
よって、人体内に投入されても、人体を損傷する可能性が少なく、消化器などの臓器の検査や手術などの医学分野で応用が期待できます。
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| 機関名 |
東京電機大学 未来科学部 ロボット・メカトロニクス学科 |
| 整理番号 |
2108_00012 |
特許等関連番号 |
特開2006-305695
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交渉レベル |
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飛翔ロボット操縦装置および飛翔ロボット操縦方法
| 概要 |
人が直接見ることができない場所で、飛翔ロボットが向いている方向を確認し、それが周囲の物体に衝突、接触するのを防ぐ操縦技術を提供します。
本技術は、飛翔ロボットに物体近接検知センサ、方位検出センサを取り付け、それらが検出する情報を、飛翔ロボットの周囲を観察するカメラの画像情報に加えて操縦者側に送り、モニタ画面内に表示するものです。
本ロボットは、物体近接検知センサ、方位検出センサの出力信号用の通信回線の増設が不要のため、消費電力を減少でき、遠隔操縦や長時間操縦を可能とします。操縦中は、周囲を映すカメラ映像に警告マークが現れ、衝突や接触を回避し、柔軟に飛翔ロボットの位置や姿勢を制御し、方位の把握もできるため、はじめての場所でも、目標とする方向や引き返す方向などを見失うことがない特徴があります。
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| 整理番号 |
2108_00013 |
特許等関連番号 |
特許4670052
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交渉レベル |
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シリンダー型マイクロ流体チップ&硬脆性材料の円筒側面に対する微細切削加工法
| 概要 |
流路の形態の自由度が高いマイクロ流体チップ技術を提供します。
本技術は、硬脆性材料の曲面状の表面にエンドミルを用いて切削加工を行い表面に溝を形成する方式です。
本体部の内部に、試料が流れる流路が3次元方向に延伸して設けられます。また、切削加工方法は、エンドミルの回転中心軸と、回転しているときに形成されるエンドミルの切刃の刃先で形成される面との交点が、硬脆性材料の外側で硬脆性材料の表面から離反した位置に存在するようにします。
主な特徴は、1)流路の形態の自由度が従来よりも高いマイクロ流体チップを提供できる、2)脆性損傷を発生させることなく、硬脆性材料の曲面に微細な溝を効率良く生成できる、などです。医薬や創薬の検査機器等として使用されるマイクロ流体チップとして有用と考えています。
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| 整理番号 |
2108_00016 |
特許等関連番号 |
特許4928808
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交渉レベル |
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内面露光装置および内面露光方法
| 概要 |
円筒、角筒等の内面に付着させた感光性物質を所定のパターンに感光する技術を提供します。
本技術は、被露光物の内部空間内に挿入され露光光線を被露光物の内側に照射するガイドロッドと、被露光物とガイドロッドとの相対位置、及び相対角度を変更するステージを設け、露光光線の照射スポットの焦点合わせ、露光開始位置合わせをした後に、露光光線を被露光物の所定の位置に照射し、被露光物の内面に付した感光性物質を所定のパターンに感光するものです。
主な特徴は、1)円筒状や角筒状等、中空の被露光物の内表面にリソグラフィを施して感光性物質のパターンを形成出来る、2)筒状の部品等のマイクロ部品の製作・加工を高精度に出来る、3)余分の付着物が付いたり、加工形状の縁に盛り上がりが出ることはない、4)溶解蒸発させる方法に比べ、エネルギー量がはるかに小さくて済む、などです。
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| 整理番号 |
2108_00017 |
特許等関連番号 |
WO2007/083489 |
交渉レベル |
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可変絞り形静圧軸受
| 概要 |
半導体や情報機器用精密加工装置の高性能化を可能とする、新規な可変絞り形静圧軸受技術を提供します。負荷軸が変位した場合に、固定絞りから流入した流体の圧力を高めて負荷軸の変位を防止し、軸受本体上部の内壁と可動物体との間に形成される流体膜が緩衝材となる機構を備えています。本技術により、接触・衝突による摩擦や衝撃から生じる、可動物体と軸受本体内壁の損傷や磨耗を抑制でき、スムーズな動作の確保が可能になります。スラスト軸受、ジャーナル軸受等に適用可能です。
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| 整理番号 |
2111_00001 |
特許等関連番号 |
特開2002-286037
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交渉レベル |
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